通常，按加工精度劃分，機械（xiè）加工可（kě）分為一般加工、精密加工、超精密加工（gōng）三個階段（duàn）。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1m，表麵粗（cū）糙度為Ra0.1~0.01m，公差（chà）等級在IT5以上的加工技術。
但一般加工（gōng）、精密加工和超精密加工隻是一個相對概念，其間（jiān）的界限將隨著加工技術的進步不斷變化，今天的精（jīng）密加工可能就是明天的一般加工
凸起字樣被緩慢地往下壓進底部（bù），最後變成平滑表麵
看似現代科（kē）技的超（chāo）精密加工在上個世紀早（zǎo）已出（chū）現
超精密加工的發展經（jīng）曆了如下三個階段：
（1）20世紀50年代至80年代（dài）為技術開創期
出於航天、大規模集成電路、激光等尖端技術發展的需要，美國率先發展了超精密加工技術，開發了金剛（gāng）石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術，又稱為“微英（yīng）寸（cùn）技術”，用於加工激光核聚變反射鏡、戰術導彈及載人飛船用球（qiú）麵、非球麵大型零（líng）件等（děng）。
（2）20世紀80年（nián）代至90年代為民（mín）間工業應（yīng）用初期
在政府的支持下，美國的摩爾公司、普瑞泰克公司開始超精（jīng）密加工設備的商品化，而日本的東芝和日立以（yǐ）及歐洲Cranfield大學等也陸續推出產品，並開始用於民間工業光學組件的製造。但當時的超精密加工設備依然高貴而稀少，主要以專用機的形（xíng）式訂作。
在（zài）這一時期，可加工硬質金屬和硬脆性材料的超精密金剛石磨削技（jì）術及磨床被開發出來，但其加（jiā）工效率無法和金剛石車床相比。
（3）20世紀90年代至今為民間工業應用（yòng）成熟期
在汽車、能源、醫療器材、信息、光電和通（tōng）信等（děng）產業的推動下，超精密加（jiā）工技術廣泛應用於非球麵光學鏡片、Fresnel 鏡片（piàn）、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等零件的加工。隨著超精密加工設備的相關（guān）技（jì）術，例如控製器、激光幹（gàn）涉儀、空氣（qì）軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓（yā）軸承導軌、摩擦驅動進（jìn）給軸也逐漸成熟（shú），超精密加（jiā）工設備變為工業界常見（jiàn）的生（shēng）產機器（qì）設備。
此外，設備精度也逐漸接近納米級水平、可加工工件（jiàn）的尺寸範圍也變得更大，應用越來越廣泛。隨著數控技術的發展，還出現了超精密（mì）五軸銑削和飛切技術。已經可以加工非軸對稱非球麵等複雜（zá）零件。
以（yǐ）上是“三大時期”下麵還有“三大趨勢”
超精密加工的發展（zhǎn）趨勢主要為以下三個方（fāng）麵：
(1) 高精度（dù）、高效率
超精密加（jiā）工永恒的主題。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加（jiā）工領域研究人員的目標。
(2) 工藝整合化
高生產效率越來（lái）越成為企業賴以生存的條件，於（yú）是出現了“以磨代研”甚至（zhì）“以磨代拋”的呼聲。此外，使用一台設備完成多種加工(如車削、鑽削、銑削、磨削、光整)的趨勢越來越明顯。
(3) 大型化、微型化
加工航空、航天、宇航等領（lǐng）域的大型光電子器件，需要建立大型超精密加工設備；加工微型電子機械、光（guāng）電（diàn）信息（xī）等領域的微型器件，需要微型超精密加工設備。
世界最大口徑（jìng）天文球麵射電望遠鏡
總的來說（shuō），超精密磨削、珩磨等固著磨粒超精密加工技術（shù）正在追求遊離磨粒加工技術的加工精度，而遊離磨粒超精密加工技術（shù）正在追求固（gù）著磨粒加工的效（xiào）率。超（chāo）精密加工技術正向著適於大批量生產的高（gāo）效高質量、低成本、環境友好的方向發展。
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