精密加工技術：超精密導軌及空氣（qì）靜壓軸承技術

文章來（lái）源：中國通（tōng）用（yòng）技術（集團）控股有限責任（rèn）公司　　發布時（shí）間（jiān）：2023-05-20

成（chéng）果93：超精密導軌（guǐ）及空氣靜壓軸承技術

【所屬領域】關鍵零部件

【中央企業（yè）名稱（chēng）】中國通用技術（集團）控股有限責任公司

【成果簡介 】

本（běn）成果麵向超精密加工技術與裝備需求，對（duì）兩類超精密關鍵（jiàn）功能部件技術產品展開攻堅。開展了多孔質節流雙半（bàn）球氣體靜壓軸承設計、製造及裝配工藝技術研究，掌握了超精密氣體靜（jìng）壓主軸伺服控（kòng）製技術。發明（míng）了一種全約束式超精密液（yè）體靜壓導軌單元結構，突破了雙膜片節流（liú）型靜壓滑塊設計技（jì）術，掌握了液體靜壓導軌裝配工藝和伺服控（kòng）製技術。本成果技術難度大、創新性（xìng）強，自主研製的超精密（mì）氣體靜壓主軸和（hé）液體靜壓導軌總（zǒng）體上達（dá）到國際先進水平，其中液體靜壓導軌（guǐ）全行程直（zhí）線度指（zhǐ）標達到國際領先水平。

【主要指標】

（一（yī））主（zhǔ）軸（zhóu）回轉精度：≤25nm

（二）主軸轉速：≥3000r/min

（三（sān））導軌直（zhí）線度：≤0.2μm/200mm

【應（yīng）用推廣需求】

（一）應用推廣方式：銷售、轉讓、合作實施、其他

（二）應用推廣領（lǐng）域：航空航天、光學、半（bàn）導體、消（xiāo）費電子等領域中精密光學元件、複雜結構（gòu）件的超精密生產製造與（yǔ）檢測。 

【成果圖片】