合(hé)肥南京糖心影视精密加工帶你走進:超精密拋光技術,精密測量不簡單
很(hěn)早以前看過這樣一個報道(dào):德國、日(rì)本等國家的科學家耗時5年時間,花了近千萬元打造了一個高純度的矽-28材料(liào)製成的圓球,這個1kg純矽球要求超精密加工研磨拋光(guāng)、精密測量(球麵度、粗糙度和質(zhì)量),可謂是世界上最圓(yuán)的球了。我們通過短片了解(jiě)一下。
下麵我們來(lái)介紹一下超(chāo)精密拋光工(gōng)藝。
01
研磨與拋光的區別
研磨:利用塗敷或壓嵌在研(yán)具上的磨(mó)料顆粒,通過(guò)研具與工(gōng)件(jiàn)在一定壓力下的相對運動對加工表麵進行的精整加工。研磨可用於加工各種金屬和非金屬材料,加工的表麵形狀有平麵,內(nèi)、外圓柱麵和圓錐麵,凸、凹球麵,螺紋,齒麵及其他型麵。加工精度可達IT5~IT1,表麵粗糙(cāo)度可達Ra0.63~0.01μm。
拋光(guāng):利用機械、化學或電化學的(de)作用,使工件表麵粗糙度降低,以獲(huò)得光(guāng)亮(liàng)、平整表麵的加工方法。
兩(liǎng)者(zhě)的主要區別在於:拋光達(dá)到的(de)表麵光潔(jié)度要比研磨更高,並且可以采(cǎi)用化學或者電化學的方法,而(ér)研磨基本隻采用機械的方法,所使用的磨料粒度要比拋光用的更粗,即粒度(dù)大。
02
超精(jīng)密拋光技術
超精密拋光是(shì)現代電子工業的(de)靈魂
超精密拋光技術在現(xiàn)代電子工業(yè)中所要完成的使命,不僅僅是平坦化不同的材料,更要平坦化多層(céng)材料,使得幾毫米見方的矽片通過這種“全局平坦(tǎn)化”形(xíng)成上萬至百(bǎi)萬晶體管組成的超大規(guī)模集成電路。例如人類(lèi)發明的計算機從幾十噸變身為現在的幾百克,沒有(yǒu)超精密拋光是無法實現的。
以晶片製造為例,拋光是整個工藝的最後一(yī)環,目的(de)是改善晶片加工前(qián)一道工藝所留下的微小缺陷以獲得最佳的平行度。今天的光電子信息產業水(shuǐ)平,對作為光電子基片(piàn)材料的藍寶石、單晶矽等材(cái)料的平行度要(yào)求越來越精密,已經達到了納米級。這就意味著,拋光工藝也已隨之進入納米級的超精密(mì)程度。
超精密(mì)拋光工藝在現代製造業中有多重要,其應用的領域能夠(gòu)直接說明問題,包括集成電路製造、醫(yī)療器械、汽車配件、數碼配件、精密模具以及航空航天。
頂級的拋(pāo)光工藝隻有(yǒu)美、日等少數國家掌握(wò)
拋(pāo)光機的核心器件是“磨盤”。超精密拋光對拋光機中磨盤的材(cái)料構成和技術要求近乎苛刻,這種由(yóu)特(tè)殊材料合成(chéng)的鋼盤,不僅要滿足自動化操作的納(nà)米級精密度,更要具備精確的熱膨(péng)脹係數(shù)。
當拋光機處在高速運轉狀(zhuàng)態時,如果(guǒ)熱膨脹(zhàng)作用導致磨盤的熱變形,基片的平麵度和平行度就無法保證。而這種不能被允許發生的熱(rè)變形(xíng)誤差不是幾毫米或幾微米(mǐ),而(ér)是幾納米。
目前(qián),美國日本等國際頂級的拋光工(gōng)藝已經可(kě)以滿足60英寸基片原(yuán)材料的精密拋(pāo)光要求(屬超大尺寸),他們據此掌控著超精密拋光工藝的核(hé)心技術,牢牢把握(wò)了(le)全球(qiú)市場的主動權。而事實上,把握住這項技術,也就在很大程(chéng)度(dù)上掌控了(le)電(diàn)子製造業(yè)的發展。
麵對如此嚴密(mì)的技術(shù)封鎖,在超精密拋(pāo)光領域,我國幾(jǐ)乎目前隻(zhī)能進行自研。
中國的超精密拋光技術水平在哪個(gè)層(céng)次?
其實在超(chāo)精密拋光(guāng)領域內,中(zhōng)國並非毫無建(jiàn)樹。
2011年,中科院國家納米科學中心研究院王奇博士(shì)團隊研發(fā)的“二氧化鈰微球粒(lì)度標準(zhǔn)物質及其製備技術”獲得中國石油和化學工業聯合會技術發明一等獎,相關納米級粒度標準(zhǔn)物質獲得國(guó)家計量器(qì)具(jù)許可和國家(jiā)一(yī)級標準物質證書。二氧化鈰新材料的超精密拋光生產試驗效果一舉趕超了國外傳統材料,填補了該領域空白。
但是王奇博士說:“這並不意味(wèi)著我們已經攀登到了(le)這一領域的頂(dǐng)峰,對於整體工藝來說,隻有(yǒu)拋光液而沒有超精(jīng)密拋光(guāng)機,我們(men)最多還隻是賣材料的(de)。”
2019年,浙江工業大學(xué)袁巨龍教授研(yán)究團隊創立了半固著磨(mó)粒化學機械加工(gōng)技術,研製的係列拋光機已在宇(yǔ)環數控機(jī)床股份有限公司批量生產千餘台,被蘋果公司(sī)確定為iphoness4和ipads3玻璃麵板以及鋁合金背板拋光的(de)全球唯一的(de)精密拋光設備,1700多台拋光機用於蘋果公司iphoness、ipads 玻璃平板的大批量生產。
機械加(jiā)工的魅力就在於此,為了追求市場份額和利潤(rùn),別人有的你要想盡辦法去趕超,而技術的領頭羊也一直會改進提高,做到更精,不斷地角(jiǎo)逐與追趕,促(cù)進了人類技術的(de)大發展。
