20世紀60年代為了適應核能、大規（guī）模集成（chéng）電路、激（jī）光和航天等（děng）尖端技術的需要而發展起來的（de）精度極高的一種加工（gōng）技術。到80年代初，其（qí）最（zuì）高加工尺寸精度已（yǐ）可達10納米（1納米=0.001微米）級，表麵粗（cū）糙度達1納米（mǐ），加工的最小尺（chǐ）寸（cùn）達 1微（wēi）米，正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納（nà）米級的超精密加（jiā）工（gōng）也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處於發展中的跨學科綜合技術。20 世紀 50 年代至（zhì） 80 年代為技術開創期。20 世紀 50 年（nián）代末，出於航天、國防等尖端技術發（fā）展的需要，美國率先發展（zhǎn）了超精密加工技術，開（kāi）發了（le）金剛石刀具超精密（mì）切削——單點金剛石切（qiē）削(Single point diamond turning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用於加工激光核聚變反射鏡、戰術導（dǎo）彈及載人飛（fēi）船用球麵、非球麵大型零件等。
南京糖心影视（jiàng）精密科技有限公司
如在加丁過程中（zhōng）對研拋工具形狀、工件支（zhī）撐狀態以及（jí）加工參（cān）數（shù）等進行實時自適應控製，從而提高了加工精度和效率，發展成為“準確定性”超精密加工技術，這種方式是目前光學元件的主要加工方式，其中典型的準確定性超精密加工工藝包括小磨頭拋（pāo）光、磁流變拋光、氣囊拋光、離（lí）子束拋光、應力盤拋光等（děng），這些超精密加丁工（gōng）藝可以通過控製駐留時間、壓力、工件轉速等參（cān）數確定去（qù）除函數，預（yù）知準確的材料去除量從而最終控製工件的麵形(見圖1-6(b))。
超精（jīng）密加工（gōng）
與非確定性超精密加工技術相比（bǐ），準確定性超精密加T技術具有以下特點：
①對加工設（shè）備精度要（yào）求較（jiào）高：由於加工過程中需要控製加（jiā）工點和丁具的（de）相對位置（zhì）精度，所以要求加工設備具有較高的重複定位（wèi）精度，一（yī）般要求在0.01mm左右即可滿足使用要求（qiú）；
②由於通過理論計算或試驗可以得到加工過程的去（qù）除（chú）函數，所（suǒ）以較為準確地控製每次加工的去（qù）除量，通過對（duì）去除函數收斂性（xìng）的分析仿真可以大大縮短加（jiā）工周期，這樣不僅提高了加丁精度，同時（shí）也縮短（duǎn）了加工效率、降低了生產（chǎn）成本；
③可以通過加工設備複雜的多軸運動控製工（gōng）具的軌跡，進行包括非球麵、自由曲麵等複雜曲（qǔ）麵超精密加工。
超精（jīng）密切削加工
主要有超精密車削、鏡麵磨削和（hé）研磨等。在超精密車（chē）床上用經（jīng）過精細研磨的單晶金剛石車刀進行微量車削,切（qiē）削（xuē）厚度僅1微米左右，常用於加工有（yǒu）色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、表麵高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，最（zuì）高精度可達0.1微米，表麵粗糙度為Rz0.05微米。
超（chāo）精密特種加工（gōng）
加工精度以納米，甚至最（zuì）終以原子單位(原子晶格距離（lí）為0.1～0.2納米)為目標時（shí），切削加（jiā）工（gōng）方（fāng）法已不能（néng）適應，需（xū）要借助特種加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱（rè）能或（huò）電能等，使這些能量超（chāo）越原子間的結合能，從而去除工（gōng）件表麵的部分原子間的附著、結合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的（de）有機械化學拋光、離子濺射和離子（zǐ）注入、電子束曝射、激光束加工（gōng）、金屬（shǔ）蒸（zhēng）鍍（dù）和分子束外延等。這些方法的特（tè）點是對表麵層物質去除或添加的（de）量可以作極細微的控製。但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴於精密的加工設備和精確的控製係（xì）統，並采用超精密掩膜作中（zhōng）介物。例如超大規模集成電路的製版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕（shí）劑（見光刻）進（jìn）行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚（jù）合過的部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版需要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設（shè）備。
