第18屆國際激光加工技術（shù）研討會（LPC 2024）將於9月10日（深（shēn）圳光（guāng）博會前（qián）一天）在深圳深（shēn）鐵皇冠假日酒店舉辦。LPC 2024繼續（xù）秉承以推動激光行業的可持續發展，搭建“產學研用”高度融合的國際交流平台為宗旨，匯聚國內外相關科研（yán）院所、高校及企業的多位專家大咖，圍繞先進光（guāng）源和裝備技術、激光微（wēi）納製造、激光（guāng）智能製造、激光賦能新質生產力以及“光”製造行業的創新發展路徑等主（zhǔ）題進行（háng）深入探（tàn）討，結合他們最新的研究（jiū）成果和成功案例（lì）分享全球激光行業的創新工藝、技術、產品和應用方案，探索前沿技術、破解難點痛點、驅（qū）動熱點（diǎn）應用、把脈未來趨勢、促進產業發展！
演講嘉賓
◎徐少林，南方科技大學副教授
演講題目
◎激光引導各向異性刻蝕—微（wēi）結構玻璃器件（jiàn）精密加工技術
演講（jiǎng）摘要
向下滑動閱覽
表麵微結構化玻璃在各類光學元件和（hé）光電器件中得到了廣（guǎng）泛應用。然而，現有的精（jīng）密（mì）加工方法通常難以實現高效製造複雜、高自（zì）由度（dù）的玻璃微結構，這限製（zhì）了微結構化玻璃元件的應用潛力。徐少林（lín）團隊的研究發現，通過利用激光（guāng）對玻璃特定區域進行（háng）改（gǎi）性，可局部（bù）加速玻璃刻蝕速率，打破玻璃固有的（de）各向同性刻蝕（shí）規律，實現沿改（gǎi）性軌跡引導（dǎo）的各向異性刻蝕過（guò）程。基於這一現象，團隊開發了“激光引導各向異性刻蝕”技術，用於製備具有銳利特征、光滑（huá）表麵以及可（kě）調形（xíng）狀和尺寸的（de）精密玻璃微結構。該方法使用整形貝塞爾光束在玻璃內部創建高縱橫比的（de）線（xiàn）形改性區域。這些改性線的蝕刻速率高於原始玻璃，並（bìng）且可以沿著改性軌跡引（yǐn）導具有方向（xiàng）性的蝕刻去材過程，從而形成V槽結構。通過調控蝕刻（kè）速率比，可以在20至80度範圍內（nèi）精確調節V槽角（jiǎo）度。將這些改性線作為基本單元相互連接，構建三維內（nèi）部改性區域，可以引導玻（bō）璃（lí）表麵形（xíng）貌的整體蝕刻演化，最終實現具有可設（shè）計形（xíng）狀和可調（diào）特征尺寸的微結構。該技術在加（jiā）工各類精密結構化玻璃元件中展現出巨大潛力（lì），可加工用於光纖對準的（de）V槽陣（zhèn）列、用於光調製的閃耀光柵，以及具有複（fù）雜（zá）設計流道的微流控芯（xīn）片等。這一激光引導各向異性（xìng）刻蝕方法有望推動高附加值結構化（huà）玻璃器件相關研究和產業的進一（yī）步發展。
嘉賓介紹
徐少林（lín）博士，現任南方科技大學機械與能源工程係長聘副教授（shòu）（研究員），博士生導師，主要從事超快激光微納加（jiā）工及應用（yòng）等相關研究。日本東北大學機械係統設計工（gōng）程博士，曾任職於日本東北大學工學研（yán）究科JSPS特別研究員和助（zhù）理教授，獲批主持（chí）2項日本學術振興會科研基金。中國光學學會激光加工專業委員會委（wěi）員，中（zhōng）國（guó）機（jī）械工程學會（huì）極端製造分會委員，廣（guǎng）東省機械工程學會特種加工分會理事（shì）。學術研（yán）究（jiū）上，首次提出激光誘導周期性納米結（jié）構自對準製造、逐像素偏振圖案化脈衝激光光刻等（děng）技術，實現了大麵積亞（yà）波長結構圖案（àn）化高（gāo）效（xiào）製造；工業應用上，開發了整形脈（mò）衝激光輔助蝕刻技（jì）術製備玻璃晶圓（yuán）微（wēi）通孔/微溝槽/微透鏡等，與企業共建“激（jī）光精密製造與芯片先進封（fēng）裝”校企聯合實驗室。近年來以通訊作者身份發（fā）表高（gāo）水平學術論文（wén）40餘篇，獨立主持國（guó）家省（shěng）市級及企業橫向（xiàng）項目10餘項。
