解讀:當前光學(xué)元(yuán)件超(chāo)精密加工的兩(liǎng)大難點
07-15-2024
  解(jiě)讀(dú):當前光學元件超精密加工的兩大(dà)難點

  7月(yuè)9日,由中國粉體網主辦的(de)“2024高端研磨拋光(guāng)材料技術大會”在河(hé)南鄭州成功召開。會議期間,我們邀請到多位專(zhuān)家(jiā)學者、企業家(jiā)代表做客“對話”欄目,圍繞高端研磨拋光材料的技術與應用現狀及發展方向進行了訪談交流。本期,我們分享的是河南工業大學班新星副教(jiāo)授的專訪。

當(dāng)前光學元件(jiàn)超精密加工的兩大難點

  中國粉體網:請問班教授,光學元件的超精密製造工藝包括哪些關鍵環節?
  班教授:主(zhǔ)要(yào)包括超精密磨削、快速拋光、精密修形等。磨削(xuē)的作用是(shì)快速去除毛坯材料,並使元件達到一定的形狀要求;快速拋光則是消(xiāo)除由於磨削加工引起的表麵和亞表麵損傷(shāng),同時進一步提升加工精度;精密修形的目的是提升元件的麵形精度,以達到使用的要求。
  中國粉(fěn)體網:請問班教授,光學元件超精(jīng)密(mì)加工(gōng)的難點有哪些?
  班教授:光學元件屬於典(diǎn)型的硬脆難加工材料,加工過程中容(róng)易產生表麵和亞表麵損傷,如何有效控製缺陷(xiàn)的(de)形成和提升加工精度是當前的難點。
  不同(tóng)的加工工藝方法對缺陷和精度的影響是不同的。比(bǐ)如,全口(kǒu)徑拋光的加工效率高,但對低頻誤(wù)差(chà)的控(kòng)製比(bǐ)較(jiào)困難,而子口徑拋光能夠提(tí)升麵形精度,但(dàn)效率較低,並且容易引起中頻誤差。
  中國粉體網:請問班教授,實現超精拋光的方法主(zhǔ)要有哪些?
  班教授:超精密拋光方法(fǎ)主(zhǔ)要包括:小磨頭數控拋光、氣囊拋光、離子束拋光、磁流變拋光、等離(lí)子體拋光、射流拋光等(děng)。盡管這些方法都能夠實現光學元件最終(zhōng)納米級麵(miàn)形精度的控製。不過,元(yuán)件尺(chǐ)寸、材質、形狀不同,所采用的方法(fǎ)也不一(yī)樣。
  中國粉體網:請(qǐng)問班教授(shòu),我(wǒ)國(guó)光學超精密加工技術與裝備發展水平如何?
  班教授:近年(nián)來得(dé)到了蓬勃(bó)發展,在(zài)天文望遠(yuǎn)係統、強激光(guāng)裝置等(děng)領域的光學元件製造工藝和(hé)裝備實(shí)現了自主可控,但在以(yǐ)光(guāng)刻物鏡為代表的極(jí)端精度光(guāng)學元件(jiàn)超(chāo)精密(mì)加工方麵與國外先進水平存在較大的差距。
  中國粉體網:請問班教授,您的研究方向(xiàng)主要涉及哪些(xiē)方麵?
  班(bān)教授:我的研究方向主要涉及麵形控製、工藝優化、設備開發等方(fāng)麵,除了大口(kǒu)徑(jìng)平麵光學元件之外,目前也在(zài)開展(zhǎn)第三代半導體晶圓超精密(mì)加工方麵的研究工(gōng)作,從軍品(pǐn)到民品輻射,將先進(jìn)的加工技術不斷推廣(guǎng)到市場上去,實現工程化應用。
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